深圳大學(xué)甲酸回流刻蝕系統(tǒng)意向公開 采購單位: 深圳大學(xué) 項(xiàng)目名稱: 甲酸回流刻蝕系統(tǒng) 預(yù)算金額(元): 9,150,000.000 采購品目: 電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況: 甲酸回流刻蝕系統(tǒng)需深度融合無氧環(huán)境控制、多材料改性、智能參數(shù)調(diào)控與數(shù)據(jù)驅(qū)動優(yōu)化技術(shù),構(gòu)建半導(dǎo)體異質(zhì)異構(gòu)集成核心裝備。系統(tǒng)通過自動甲酸回流機(jī)(支持6/8英寸晶圓,氧濃度動態(tài)控制≤20p...( 麥冬加工 在正文中 )