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    東南大學(xué) - 競(jìng)價(jià)公告（CB102862024000388）

    更新時(shí)間:
    2024年04月01日
    		 招標(biāo)單位: 立即查看
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    項(xiàng)目名稱: 立即查看 代理機(jī)構(gòu): 立即查看
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    **** - 競(jìng)價(jià)公告（****）
    發(fā)布時(shí)間：2024-04-01 16:52:19 截止時(shí)間：2024-04-03 18:00:00
    申購(gòu)主題： 6英寸晶圓測(cè)試系統(tǒng)
    報(bào)價(jià)要求： 國(guó)產(chǎn)含稅
    發(fā)票類型： 增值稅普通發(fā)票
    付款方式： 貨到驗(yàn)收合格后付款
    收貨地址： **省/**市/**區(qū)/****
    供應(yīng)商資質(zhì)：
    備注說(shuō)明：
    送貨時(shí)間： 合同簽訂后7天內(nèi)送達(dá)
    安裝要求： 免費(fèi)上門安裝（含材料費(fèi)）
    預(yù)算： 人民幣
    采購(gòu)內(nèi)容 數(shù)量/單位 預(yù)算單價(jià) 品牌 型號(hào) 規(guī)格參數(shù) 質(zhì)保及售后服務(wù) 附件
    6英寸晶圓測(cè)試系統(tǒng) 1.0/臺(tái) 傅測(cè)科技 APEX-600 1、顯微鏡系統(tǒng) 1.1 顯微鏡支架，可以X/Y軸線性移動(dòng)；移動(dòng)范圍：20mm×20mm，設(shè)計(jì)擴(kuò)展其它儀表整合顯微鏡一體化。 *1.2 金相顯微鏡：西登托夫類型，可調(diào)范圍：51-76mm；使用**粗調(diào)（3.8mm/rve）和微調(diào)（0.05mm/rve）聚焦（左/右）以達(dá)到50 mm的行程范圍，2X/10X/20X/50X物鏡雙目金相顯微鏡，可目鏡觀察，也可直接在顯示屏上觀察。 1.3 包含HDMI高清CCD。 1.4 包含150 W冷光源，全色域光譜。5500k色溫，光纖光源，1.5米 1.5具備顯微鏡橋接口，可以自行更換、升級(jí)顯微鏡。 2、電學(xué)測(cè)試臺(tái)主機(jī) 2.1 樣品臺(tái)（Chuck）：可裝載包括6英寸以內(nèi)樣品；樣品真空吸附，并且吸附區(qū)域可選擇，具備刻度環(huán)；平整度＜10μm。 *2.2 具有氣浮式樣品臺(tái)，采用空氣軸承，可一鍵360°全量程大范圍快速移動(dòng)。 2.3 樣品臺(tái)可粗調(diào)360度，微調(diào)角度±5°。 *2.4 X/Y快速平臺(tái)移動(dòng)范圍≥180mm×230mm；微米級(jí)精細(xì)移動(dòng)范圍≥25mm×25mm。 2.5 可方便、無(wú)風(fēng)險(xiǎn)樣品裝載。 *2.6 針座放置平臺(tái)（Platen）可調(diào)節(jié)位移≥10mm。Platen微調(diào)帶微調(diào)電子千分尺，千分尺具有調(diào)零功能，可實(shí)施顯示Platen升降高度 *2.7 針座放置平臺(tái)有三檔調(diào)節(jié)微調(diào)高度設(shè)計(jì)（防止更換樣品時(shí)，針尖與樣品劇烈碰撞），平臺(tái)三擋微調(diào)高度：0-300μm-3mm。 2.8 最多可容納10組DC直流針座和4組RF射頻針座。 3、探針座 3.1 配備6只磁性吸附的直流探針座。針座精度0.7微米，XYZ行程：12.5/12.5/12.5mm。 3.2 配置4根直流針桿，直流針桿采用三同軸套管形式。 3.3 配置2根開(kāi)爾文測(cè)試針桿，5根超低漏電開(kāi)爾文探針 4、直流探針 4.1 直流探針滿足0～50mHz的測(cè)試頻率范圍，直流探針漏電流＜100fA 5、光電屏蔽系統(tǒng) 5.1 系統(tǒng)需配置完全兼容的減震平臺(tái)進(jìn)行放置，保證測(cè)試精度，固有頻率1.2 ~ 2.0 Hz，雙腔室空氣彈簧，隔振來(lái)源 阻尼孔水平維持方式，高精度閥門自動(dòng)維持水平，EMI 屏蔽 > 20 dB (typical) @ 1 kHz to 1 MHz，光衰減 ≥ 100 dB，光譜噪聲基底 ≤ -200 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)，系統(tǒng)交流電噪聲 ≤ 10 mVp-p (≤ 1 GHz) *6、自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)，支持RS232、LXI測(cè)試儀器，對(duì)AD芯片，F(xiàn)GPA芯片，CMOS電路測(cè)試數(shù)據(jù)保存，圖形顯示，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)范圍：10pAto1A,1μVto200V,20W，四象限工作0.012%的精確度，5的分辨率，可程控電流驅(qū)動(dòng)和電壓測(cè)量鉗位的6位線電阻測(cè)量。 *7、多通道測(cè)試探卡，配合自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)，20路測(cè)試通道，pitch尺寸小于30微米。 *8、可升級(jí)磁場(chǎng)功能選件，完成 霍爾遷移率：0.01-106 cm2 /Vs，電阻范圍：10MΩ-1GΩ，電阻率：1*10-5 到 105Ωcm功能測(cè)試。 按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提供服務(wù)

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    ·幫您第一時(shí)間獲得全國(guó)項(xiàng)目業(yè)主、招標(biāo)代理公司和政府采購(gòu)中心發(fā)布的招標(biāo)、中標(biāo)項(xiàng)目信息

    項(xiàng)目定制服務(wù)

    ·根據(jù)您的關(guān)注重點(diǎn)定制項(xiàng)目，從海量的項(xiàng)目中篩選出符合您的要求和標(biāo)準(zhǔn)的工程并及時(shí)找出關(guān)鍵負(fù)責(zé)人和聯(lián)系方式

    ·根據(jù)您的需要，向您指定的手機(jī)、電子郵箱及時(shí)反饋?lái)?xiàng)目進(jìn)展情況

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