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高真空脈沖激光濺射薄膜沉積系統(tǒng)

1.0

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**科儀

PLD300

一、系統(tǒng)的主要組成及技術(shù)指標(biāo) 極限真空度：≤4x10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后)； 達(dá)到極限真空后停泵關(guān)機(jī)12小時真空度優(yōu)于5Pa。 系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮?dú)夂�，再開始抽氣，20分鐘可達(dá)到5x10-4 Pa； 激光入射口到地面的距離為1200mm； 系統(tǒng)主要由濺射真空室、旋轉(zhuǎn)靶臺、抗氧化基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成； 1、濺射真空室組件 球型真空室尺寸Ф300mm，選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面進(jìn)行特殊工藝拋光處理，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封； 真空室組件上焊有各種規(guī)格的法蘭接口如下： 1.1、RF150法蘭接口：1個（活開門組件）； 1.2、CF150蘭接口：3個（基片樣品臺組件、靶組件,分子泵）； 1.3、RF63法蘭接口：4個（激光入射窗口、紅外測溫窗口、觀察窗口2個）； 1.4、CF16法蘭接口：6個（進(jìn)氣管路、充氣閥、高壓放點(diǎn)電極、電阻規(guī)、備用2個）； 1.5、CF50法蘭接口：2個（備用）； 1.6、CF35法蘭接口：4個(電離規(guī)管、照明、旁抽、備用)； 2、旋轉(zhuǎn)靶臺組件 2.1、每次可以裝四塊靶材，靶材尺寸：Φ20mm；（客戶自購靶材，可根據(jù)實(shí)際尺寸定做過渡環(huán)用于放置小靶材）。 2.2、每塊靶材可實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5～60轉(zhuǎn)/分，連續(xù)可調(diào)。 2.3、靶位公轉(zhuǎn)換位機(jī)構(gòu)，由電機(jī)驅(qū)動磁耦合機(jī)構(gòu)控制。 2.4、靶材屏蔽罩將4塊靶材屏蔽，每次只有一個靶材露出濺射成膜，以避免靶材之間的交叉污染； 3、抗氧化基片加熱臺組件 3.1、基片尺寸：可放置φ1″基片； 3.2、基片加熱爐最高溫度 800℃±1℃，由熱電偶閉環(huán)反饋控制，采用抗氧化電阻絲材料作加熱器； 3.3、基片可連續(xù)回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5～50轉(zhuǎn)/分，電機(jī)驅(qū)動磁耦合機(jī)構(gòu)控制； 3.4、基片與靶臺之間距離30～90mm可調(diào)，由腔外手動波紋管調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)控制（在真空的環(huán)境下在腔外操作）； 3.5、手動控制樣品擋板組件：1套； 3.6、樣品托：2個；（樣品托在打開真空室門的時候，手動從樣品臺上取出） 4、窗口及法蘭接口部件 4.1、RF150活開門：1套（其上有鉸鏈、鎖緊件、RF100觀察窗）； 4.2、RF63石英玻璃窗口：1塊（可透過紫外248nm波段的JGS1石英玻璃，供激光入射使用）； 4.3、RF63光學(xué)玻璃窗口：1塊； 4.4、CF35陶瓷封接引線法蘭：1個（照明及內(nèi)烘烤引線）； 4.5、CF16單芯陶瓷封接引線法蘭：1個（高壓放電電極）； 4.6、盲法蘭：CF16、CF35各1個；CF50，2個； 5、工作氣路 5.1、100SCCM/50SCCM質(zhì)量流量控制器、充氣閥CF16、針閥（針閥與MFC串聯(lián)使用）、管路、接頭等：各1路 5.2、充氣閥DG16、管路、接頭等：1路（解除真空充氮?dú)猓?6、抽氣機(jī)組及閥門、管道 6.1、復(fù)合分子泵及控制電源：1臺（抽速600升/秒 **科儀）（用戶自備）； 6.2、旋片油真空泵：1臺（抽速8升/秒 **優(yōu)成）； 6.3、手動插板閥CF150：1臺（用于分子泵與真空室隔離） 6.4、手動角閥CF35：1臺 6.5、KF40電磁隔斷閥：1臺； 6.6、KF25電磁壓差閥：1臺； 6.7、分子泵與機(jī)械泵軟聯(lián)接金屬軟管：1套 ； 6.8、機(jī)械泵與真空室之間的旁抽管路：1套 ； 7、安裝機(jī)臺架組件 優(yōu)質(zhì)方鋼型材焊接成，快卸圍板表面噴塑處理；機(jī)臺表面用不銹鋼蒙皮裝飾；四支腳輪，可固定，可移動。 8、真空測量及電控系統(tǒng) 8.1、電源機(jī)柜：1臺（含總控電源，有斷電保護(hù)功能）； 8.2、控制電源：1臺（為機(jī)械泵、電磁閥等提供電源）； 8.3、樣品加熱控溫電源：1套（可實(shí)現(xiàn)程序控溫）； 8.4、電機(jī)旋轉(zhuǎn)電源：1套； 8.5、加熱烘烤及照明電源：1套； 8.6、寬量程數(shù)顯真空計：1套；英�？� 大氣～5X10-9mbar （1×105～5×10-7Pa） 8.7、質(zhì)量流量顯示器：1套；**** 8.8、激光掃描電源：1套； 9、備件 9.1無氧銅密封墊圈及管路：CF16：2個；CF35：2個；CF50：2個；CF150： 2個；￠6mm卡套：2套；￠6mm不銹鋼管：6m； 9.2氟橡膠密封圈：￠150mm：1個；￠125mm：1個；￠63mm：1個； 9.3烘烤帶：2條；（不帶控溫電源） 9.4碘鎢燈：5個； 9.5樣品加熱爐絲：1套； 9.6￠63mm光學(xué)玻璃：1塊； 9.7小型不銹鋼標(biāo)件M3、M4：各3個； 9.8電器相關(guān)的保險絲：各10個。 9.9測試靶材：4塊（鈦靶材、銅靶材、鐵靶材、鋁靶材）僅供測試練習(xí)用途。 10、計算機(jī)控制系統(tǒng) 由計算機(jī)、硬件卡、軟件組成；控制的內(nèi)容主要有公轉(zhuǎn)換靶、靶自轉(zhuǎn)、樣品自轉(zhuǎn)、樣品控溫等。 11、激光器（用戶自備）。 12、主要配置清單 序號 名稱 型號 產(chǎn)地 數(shù)量 1 球形真空室 非標(biāo) **科儀 1臺 2 四工位轉(zhuǎn)靶組件 非標(biāo) **科儀 1套 3 旋轉(zhuǎn)基片臺組件 非標(biāo) **科儀 1套 4 加熱控溫電源 日本產(chǎn)控溫表 **科儀 1臺 5 質(zhì)量流量控制器 100/50SCCM **** 各1路 6 機(jī)械泵 TRP-36 **優(yōu)成 1臺 7 插板閥 CF150 **科儀 1臺 8 臺架 非標(biāo) **科儀 1臺 9 電控柜 非標(biāo) 國產(chǎn) 1臺 10 真空計 MPG400 英福康 1套 11 計算機(jī)部分 國產(chǎn) 1套 12 相關(guān)控制電源 非標(biāo) **科儀 1套 13 其他組成零部件 非標(biāo) **科儀 1套 二、技術(shù)服務(wù)及質(zhì)量保證 1、按ISO9001質(zhì)量管理體系組織設(shè)計、加工、裝調(diào)、檢驗(yàn)、包裝、運(yùn)輸； 2、提供該設(shè)備的技術(shù)使用說明書及外購配件儀器儀表說明書； 3、在甲方現(xiàn)場驗(yàn)收后，一年內(nèi)免費(fèi)維修正常使用出現(xiàn)的故障，非正常的故障維修只核收工本費(fèi)及差旅費(fèi)，終身維修只核收工本費(fèi)及差旅費(fèi)； 三、現(xiàn)場安裝具備的條件 1、電源380V 50Hz 功率大于10KW，波動范圍：小于±6％，配置多路接線插座； 2、可靠地線, 對地電阻小于2Ω； 3、安裝場地面積大于25M2,高度要求高于2.4M； 4、要求安裝場地的標(biāo)準(zhǔn)溫度為20℃～24℃，標(biāo)準(zhǔn)相對濕度為50%～60%； 5、要求有普通氮?dú)�，壓�?qiáng)要在2～3個大氣壓之間； 、外排廢氣管道；

培訓(xùn) 1、培訓(xùn)時間：2～3天 培訓(xùn)人數(shù)：2～3人 2、培訓(xùn)內(nèi)容及要求： 1）了解設(shè)備的工作原理、組成及各部組件、控制系統(tǒng)的工作原理和使用方法 2）熟練掌握整套系統(tǒng)的操作規(guī)程 3）能夠?qū)υO(shè)備的一般故障進(jìn)行診斷和簡單維修，進(jìn)行易損件的更換 4）對設(shè)備能夠進(jìn)行日常的維護(hù)和保養(yǎng)。